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          微束分析 透射電子顯微術(shù) 集成電路芯片中功能薄膜層厚度的測(cè)定方法 
        
          
          
                 
         
        
				 
	    
        標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 43748-2024  
        替代情況：  
        
		  
        發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
        起草單位： 
        
		  
        發(fā)布日期： 2024-03-15
        實(shí)施日期： 2024-10-01
        
 
        
 
 	  
        點(diǎn) 擊 數(shù)： 
                         
    
   
        更新日期： 2024年04月29日
        
						 
				 
				 
        
      
        

 
        

        
 
        內(nèi)容摘要
        
 
        本文件規(guī)定了用透射電子顯微鏡/掃描透射電子顯微鏡(TEM/STEM)測(cè)定集成電路芯片中功能薄膜層厚度的方法。本文件適用于測(cè)定幾個(gè)納米以上厚度的集成電路芯片中功能薄膜層。
        

        
  




  
         




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