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        潔凈室及相關受控環境 第9部分:按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

        標 準 號: GB/T 25915.9-2018
        替代情況:
        發布單位: 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
        起草單位: 中天道成(蘇州)潔凈技術有限公司、深圳市吉隆潔凈技術有限公司、蘇州安泰空氣技術有限公司
        發布日期: 2018-06-07
        實施日期: 2018-10-01
        點 擊 數:
        更新日期: 2018年12月29日
        內容摘要

        GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關受控環境中,按粒子濃度來劃分固體表面潔凈度等級。附錄A~附錄D中給出了關于表面特性的信息以及推薦的檢測和測量方法。
        本部分適用于潔凈室及相關受控環境中的所有固體表面,如墻壁、頂棚、地板、生產環境、工具、設備和產品。按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級(SCP)限于粒徑0.05 μm~500 μm的粒子。
        本部分對以下事項未予考慮:
        ——特定工藝的潔凈度及適合性要求;
        ——表面的清潔步驟;
        ——材料特性;
        ——涉及相互結合力或通常與時間和工藝過程有關的事項;
        ——分級和測試統計方法的選擇和使用;
        ——粒子的其他特性,如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。

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