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          原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法 
        
          
          
                 
         
        
				 
	    
        標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 31227-2014  
        替代情況：  
        
		  
        發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
        起草單位： 上海交通大學(xué)、納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心
        
		  
        發(fā)布日期： 2014-09-30
        實施日期： 2015-04-15
        
 
        
 
 	  
        點 擊 數(shù)： 
                         
    
   
        更新日期： 2017年12月08日
        
						 
				 
				 
        
      
        

 
        

        
 
        內(nèi)容摘要
        
 
        本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用原子力顯微鏡(AFM)測量表面粗糙度的方法。
        
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量濺射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。
        
其他非濺射薄膜的表面粗糙度的測量可以參考此方法。
        

        
  




  
         




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