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          硅多晶真空區(qū)熔基硼檢驗(yàn)方法 
        
          
          
                 
         
        
				 
	    
        標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 4060-2018  
        替代情況： 
    替代 GB/T 4060-2007 
        
		  
        發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
        起草單位： 江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司、亞洲硅業(yè)(青海)有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、峨嵋半導(dǎo)體材料研究所
        
		  
        發(fā)布日期： 2018-09-17
        實(shí)施日期： 2019-06-01
        
 
        
 
 	  
        點(diǎn) 擊 數(shù)： 
                         
    
   
        更新日期： 2019年06月03日
        
						 
				 
				 
        
      
        

 
        

        
 
        內(nèi)容摘要
        
 
        本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅中基硼含量的測(cè)試方法。
        
本標(biāo)準(zhǔn)適用于在硅芯上沉積生長(zhǎng)的多晶硅棒中基硼含量的測(cè)定，測(cè)定范圍：0.01×1013atoms/cm3～5×1015atoms/cm3。
        

        
  




  
         




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