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基于HAZOP的集成電路安全生產風險評估

文檔作者：楊振，李世軍，劉忠哲文檔來源：北京智芯微電子科技有限公司		點擊數：	更新時間： 2025年09月05日
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電工技術系統解決方案
基于HAZOP的集成電 風險評估
楊振，李世軍，劉忠哲
(北京智芯微電子科技有限公司，北京100096)
摘 要：文章采用HAZOP風險評估方法,對集成電路生產過程中的安全性進行評估。重點介紹評估過程,并提出注
事項。
關鍵詞：HAZOP；集成電路；安全生產；風險評估
HAZOP-based Risk Assessment of Safety Production of Integrated Circuit
YANG Zhen, LI SHijun, LIU Zhongzhe
(Beijing Smartchip Microelectronics Technology Co. , Ltd. , Beijing 100096 , China)
Abstract： ThearticleusestheHAZOPriskassessmentmethodtoevaluatethesafetyoftheintegratedcircuitgeneration
processHFocusontheevaluationprocessandproposeconsiderationsH
Key words: HAZOP&amp;amp; integrated circuit； safety production；
0引言
通常情況下， 電路進行生產是一個極為 的
工藝，其中涵蓋了 、去膠等多道工序，每一道工序都
需要進行 ，并且需要 多化學物品。 ,
電力進行生產的過程中， 存在著較大的風
險。無論是在生產過程中所使用的硬件設備，還是相應的
學藥品，都需要對其進行綜合式的評估。與此同時
電路進行生產過程中，所要求的 設備
的輔助設備都需要 較高的自動 ，出現任何形
式的偏差都會產生嚴重的后果。
1常用的安全生產評估方法
安全生產評估主要指從安全的 出發， 個系統
存在的 進行有效 ％與此同時
結果進行系統的評價，能夠對安全生產起到指 :
。對于 來說，進行 的安全評估主要是從五個方
為施工人員、機器、施工材料、施工方法，
施工環境。 能夠引發事故的 進行詳細分析，
同時對能夠 的 措施進行討論，最后還需
要對一些不可預料的 進行 ％
截止到目前，安全 估 類繁多，其中包括
按 類、按定性分類 按邏輯方式分類等。對
于每 不同的 類 是 多的 且每一
估的 都 其自身的特點。就目前情況來看，
較為廣泛的 了 HAZOP、SCL、PHA、
FMEA、ETA、FTA、CAM 等。
的HAZOP 可以稱之為危險性和操作
收稿日期：201-051
riskassessment
性研究E %在生產過程中，其能夠對工藝狀態所出現的偏差
變化進行查找，隨后進行原 ,并且找出
同時預測所能夠出現的一系列結果％ 的根本目的是為
了能夠更好地對安全性還 性進行全面的 ％其不僅
能夠 一 的偏 設 偏 進行 效 !還能夠找
出原 ％目前HAZOP 國家安監 可
并且大 。對于集成電路生產過程中的 性 多
樣性，采用HAZOP 常好的匹配性％
2基于HAZOP風險評估過程
生產進行 HAZOP 估的過 中!需要 全
的生產過 進行系統、 全 的 !不能 過 一個偏
設計的意圖， 其出現的原 產生的后果，從
的 措施，大體可以分為以下幾個步驟25* %
(1) 按照生產過程中所需要運用到的設備 原料對
生產過程進行劃分，將其劃分為若干個節點，隨 于每
一個節點進行詳細的討論％
(2) 按照每一個節點，將HAZOP引導詞和生產參數
進行有效的結合，對可能出現的一系列偏差進行假設，同
時對有可能出現失誤的模式進行分析％ HAZOP引導詞如
1 ,可能出現的 模式 2%
表1 HAZOP引導詞
Tab. 1 HAZOP guide words
引出現的偏離
More than 在系統中，有較多不潔凈的物質存在
Pat of 存在相應的組建缺失等現象
Less of 與實際情況相比較，溫度等參數較低
Reverse 出現了倒流的現象
None, No, Not 有行流動
174 I www.chinaet.net | 中國電工網
系統解決方案電工技術
表2可能出現的失誤模式
Tab2 Potentialfailurepaterns
引導詞
None，No，Not Part of Less of Reverse More than
能量無 / 不足/ /
液位無 / 低/ /
反應無 不能充分反應速率較低逆向反應/
混合無 濃度出錯合/ 存在污染
壓力/ 較低/ /
流量無/ 較低向存在污染
(3) 對于 一 模式都需要對其出現的原因進
行詳細 ，其中 、 人為等 的分
析。
(4) 對每一 模式進行評估，估算出其可能會出
現的結果 的 ％
(5) 模式進行評估的過程中，需要注意的是，
不僅要對所存在的 出現的結果進行分析，同時還
需要對安全管控的措施進行詳細的探討，其中 設立安
全警 過壓保護等。
(6) 前面五個步驟后，還需要對每一個安全失
效模式進行定量的。在進行定量 的過 中，常
常會從以下三個 來進行考慮， 為偏 出現事
故的嚴重性(S)以及出現偏離的 (F)還有出現 的幾
率(P)。對這三個參數進行整理，從而計算出其風險等級
R = SXFXP%
(7) 按 等級， 替代相應的風險因素，
從而使得 等級降至最低。
3使用HAZOP方法注意事項
使用HAZOP方法進行安全風險評估時候，需要注
意以下幾個 ％
(1)在進行安全風險評估的過程中，需要建立5?7人
(上接第115頁)
prediction usingstatespace modeland patern-based approach[
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nonlineareconomictimeseriesofgoldprice： Acomparative
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[10] S Panigrahi， Y Karali， H Behera. Time series forecasting
的設計小組，其中 系統的設計者以及相應的專家，從
為后續的 提供 的 ％
(2) 需要 的目的 范圍。 大多數情況
下，安全 估主要是為了能夠更好地 源進行查
找，從而能夠確保整個系統的安全運行。
(3) 需要 的資料進行有效 ，其中包括設計
等。
(4) 在對系統進行評估的過程中，需要運用多種方式
的 ，從 小組 的每一 員的智慧進行開發,
充分提出 意見。
(5) 在絕大多數情況下， HZAOP 進行系統
的安全 估，并不能夠對全部的 進行 ，對于
特殊意義的 ，需要 特點的評
估 進行評估。
4結語
在集成電路生產中， HAZOP 能夠完整地對
個系統進行安全 ，不僅 性 ，而且還包括
量評估。除此之外，對于 的 偏差，該
也 好的 性， 于降低集成電路生產風險。
參考文獻
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