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微電子高科技園區環境風險及管理對策

文檔作者：阮關心文檔來源：上海環境保護有限公司		點擊數：	更新時間： 2023年10月08日
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微電子高科技④區環境風險及管理對策
阮關心
(上海環境保護有限公司上海200233)
摘要以我國東部某典型微電子高科技園區為例。識別出該類園區危險物質、生產過程、儲運過程中存在的環境風險和
園區重大污染源．從規劃層面、源頭管理、過程管理、應急管理等方面，提出了該類園區環境風險管理對策。
關鍵詞微電子高科技園區環境風險環境管理
中圖分類號：X820．4 文獻標識碼：A 文章編號：1672-9064(2010)05—0037—03
環境風險分析是區域環境影響評價的重要組成部分．可
在一定程度上規避區域開發所產生的環境風險[I-5]。我國近
年來新建了諸多微電子高科技園區．微電子產業在生產過程
中，由于工藝要求需使用多種化學品．其中包括氯化氫、氯
氣、氟化氫等有毒有害氣體，潛在一定環境風險。雖然環境風
險事故乃小概率事件，然而其危害較大．可能對敏感目標產
生不可逆的環境影響[6J。因此．開展微電子高科技園區環境
風險分析，提出針對性的管理策略．以期為微電子高科技園
區及其周邊區域的可持續發展提供參考。
l 區域概況
近年來．全球芯片產業為主的微電子產業逐漸向中國轉
移，而我國東部地區的微電子產業發展最為迅速和成熟，因
此。選擇我國東部某典型的微電子高科技園區為研究區域。
該園區是國家電子信息產業基地．目前園區內已分布有200
多家國內外知名微電子企業。2007年的統計數據表明．園區
的三家大型芯片制造企業的生產能力已達到全國的50％以
上。隨著園區微電子產業的迅速發展．園區的環境風險也正
在逐漸增大．亟待制定相關對策來減少和規避此類風險。
2微電子高科技園區環境風險
2．1 危險物質風險識別
集成電路芯片生產在芯片刻蝕、清洗過程中需使用各種
酸性、堿性或有機溶劑類的液體化學品及各類特殊氣體，涉
及較多危險化學品，主要有氨氣、氯氣、氯化氫、磷化氫、硅
烷、異丙醇、丙酮及各類酸、堿。電子行業生產涉及的主要危
險物質及其危險特性詳見表1。
2．2生產過程風險識別
在微電子生產中．硅片加工過程復雜．工藝步驟多達
300多道，主要包括清洗、氧化／擴散、光刻、化學氣相沉積、干
法刻蝕、離子注入、濺射等工藝過程．各道工序均需多種化學
品，包括酸、堿、有機溶劑、半導體特殊氣體等。主要生產工序
涉及的主要化學品及其潛在的危險性見表2。
2．3儲運過程風險識別
裹l 電子行業主要危險物質特性表
注：表中“急性毒性”分級依據來自《化學物質毒性全書>“化學物質的急性毒性分級”，“危害程度”分級來自《職業性接觸毒物危害程度分級依
據，(GB5044—85)。
作者簡介：阮關心(197p)，男，2001年畢業于青島化工學院化學工程與工藝專業，2010年6月畢業于華東理工大學環境工程專業．碩士，工程師。

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